“到底难在了什么地方？”

“光源发生器非常难。”

蒲伟才说道：“要制造出波长13.5纳米的极紫外光，必须要用193纳米波长的深紫外光，击打自由落体的金属锡滴，并且要在极短的时间内，连续击中锡滴两次，每秒重复5万次，才能产生足够强度的极紫外光。”

要知道金属锡滴的直径只有二十微米。

自由落体过程中，不仅要被激光击中，由水滴状摊平成圆饼状，再进行第二次击打，才能击发出最强烈的极紫外光……整个过程，完全是动态中发生的，如同用绣花针击中苍蝇，而且要连续击中两次。

“每秒2万次……”

卫明沉

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并在一秒内，重复五万次这套操作。

“你不是说已经解决光源问题了么？而且能源利用率达到了5%？”卫明不解的道。

“光源是解决了，是因为我们用的击打光源，是特殊晶体击发出的132纳米光，能量利用率肯定比193纳米光高的多，但要想制造强度足够的13.5纳米波长的极紫外光，还是得通过击打锡滴的方式达到，这是唯一可行的路径。”

“也就是说，你们只搞定了击打光源，然后就说搞定了光源……这两个不是一码事吧？”

卫明眉头皱了起来。

以上这些，是经常充斥在卫明耳边的话，听得他几乎耳朵长茧。

真的有那么难么？

这些天，亲自进入研发工厂，了解透了光刻机的工作原理，在“老板工作间”内，利用体内的小黑，轻松打磨出几十个合格的高精密零件，以及20块的“锅盖”镜片——每块“锅盖”镜片，由四十层玻璃叠加而成，表面凸起都不得超过1纳米。

“很简单嘛，好像没什么难的。”

看着面前成批成批的精度完全合格的零件，卫明撇了撇嘴说道。

“卫总，不是我们爱搞虚假宣传，可是长期的科学研究，如果没有点成果的话，谁会关注我们，上面怎么给我们拨款？所以哪怕只是部分突破，也得重点宣传一番。”

一旁的向广林解释说道。

“我们正在攻克的最后一项技术难题，就是锡滴的击打频率问题。”

蒲伟才也道：“我们已经解决了连续击打问题，但每秒最多重复5000次，不过我们的能量利用率更高，只需做到每秒重复2万次，就有足够使用的光照强度了。”

“所以我们的能量利用率不是没有意义，每秒2万次比每秒5万次，明显容易实现多了。”

第九十四章 光刻机比想象的容易 (第1/3页)

光刻机很难。

真的非常非常难。

难度系数是氢弹的十倍。

哪怕倾举国之力也不可能在短期内拿得下。

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