让12个精密的子系统，逐渐变成一个能进行精确联动的大系统。

接下来的半个月。

光刻机研发部，刷新一个又一个数据记录，每天都有爆发式的欢呼，从厂房里发出。

“锡滴释放频率每秒5万次，持续工作33分27秒。”

“每秒5万次，持续工作38分15秒！”

“每秒5万次，持续工作47分48秒！”

“每秒5万次，持续工作59分52秒……接近一个小时，光源系统磨合到完美程度，这是不可能被超越的一个极限！”

不过还有一个极限，不是不能突破。

“既然我们的光源系统稳定性这么高，索性，我们不做复杂麻烦的‘纠偏系统’算了！再往里加入一组光源，构成‘双光源系统’，光刻机正常使用情况下，只让一组光源进行工作，每次工作半个小时，另一组光源进入休息调整状态，半小时后接替工作，轮流换班，减少累积误差。”

“此外这台机器还有一个‘狂暴模式’，那就是让两套光源系统，同时投入工作，每秒10万粒的锡滴，20万次的击打，产生超过1250瓦能量强度的极紫外光，这个光强是艾思迈光刻机250瓦的5倍之高，比普通DUV光刻能量也强悍的多。”

再根据这些尺子，加工所需要的零件，建立一套可参考对照的精准体系。

如果出现累积误差，就手动修正一番，让整体的误差范围不会超过1纳米。

卫明甚至会亲自参与到耗费时间极多的“组装”过程中，利用小黑的扫描半径，其他操作手至少得半小时才能装好的一个零件，他3分钟内就能实现精确安装。

并修正了多处地方的安装误差。

整个系统的稳定性大大提高。

“狂暴模式下，这台光刻机每小时至少能处理600片以上的晶圆，艾思迈他们只能处理125片，我们的效率高出四五倍！”

“而且能量密度越高，光刻出的清晰度、锐

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第九十五章 狂热 (第1/3页)

老板工作间。

一个又一个的零件被打磨了出来。

得心应手地操控着小黑，工业加工方面，卫明不断创造出精度的极限。

只要先制造出一批精确度达到0.1纳米的“尺子”。

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